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Magnetron-Sputter-Verfahren

Das Magnetron-Sputter-Verfahren, auch Kathodenstrahlverfahren genannt, ist ein physika­lischer Beschichtungsprozess für sogenannte Softcoatings. Dabei handelt es sich um Beschichtungen, die nach der Glasherstellung aufgebracht werden. Dies können beispielsweise Metalloxide für die Herstellung von Low-E-Glas sein.

Aufgebracht werden die Beschichtungen im Hochvakuum einer Magnetronanlage, wobei einseitig nacheinander mehrere Schichten aufgesputtert werden (to sputter = zerstäuben).

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